用于声学传感器应用的压电材料及相关器件

本公开涉及用于声学传感器应用的压电材料及相关器件。本文公开了一种微机电系统(MEMS)器件，其包括第一电极层、氮化铝基压电层、以及第二电极层。氮化铝基压电层包括化学式AlScYbN、AlYYbN、AlScYN或其组合的压电材料，其中x+y+z＝1。还公开了包含该压电材料的声学组件。