一种超导纳米线单光子探测器混合集成方法

本发明公开一种超导纳米线单光子探测器混合集成方法，涉及技术超导单光子探测技术领域。方法包括：根据超导纳米线单光子探测器的目标工作波长、光入射方向、光学腔材料属性进行联合仿真设计，确定器件结构参数和光学结构参数；分离超导纳米线器件芯片和组合光学结构；拾取达标的超导纳米线器件与组合光学结构倒装键合，形成叠层结构，封装并完成电学连接和光路装配，本发明通过先对SNSPD器件结构和光学腔结构进行联合仿真设计；再将超导纳米线器件和光学结构分离制备，避免在已筛选的超导纳米线器件上继续叠加多次高温或强腐蚀工艺，对超导薄膜的损伤，有利于保持优异的单光子探测本征性能，提高器件加工的兼容性和良品率。