湿法设备药液槽换液的方法、装置和湿法设备

本申请提供了一种湿法设备药液槽换液的方法、装置和湿法设备。在任一药液槽的累计使用时间达到预设寿命阈值时，生成对应药液槽的第一换液触发信号；在工控机的当前系统时间到达预设的固定时间点时，生成对应药液槽的第二换液触发信号；根据生成的换液触发信号，控制对应药液槽执行换液操作，并在换液完毕后重置对应药液槽的累计使用时间；若在预设的固定时间点未生成第二换液触发信号，则在湿法设备异常解除后，监测累计使用时间；在累计使用时间再次达到预设寿命阈值时，生成第一换液触发信号，并基于此执行换液操作。解决了湿法设备因各药液槽基于寿命独立换液导致换液时间杂乱且不可预测，进而引发产线派货冲突及进货失败的问题。