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기록
一种双面加工系统及加工方法
발명알 수 없음
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
IPC 분류
H10P 72/30 (2026.01)G03F 7/20 (2006.01)H10P 72/76 (2026.01)
本发明涉及一种双面加工系统及加工方法,包括上料单元、加工单元、下料单元、初定位单元和中转移栽单元;所述初定位单元包括规整台,位于初定位工位;所述加工单元包括承载台,所述承载台在上下料工位和加工工位之间移动;所述下料单元包括下料暂存单元,用于暂存完成单面加工或者完成双面加工的工件,位于暂存工位,所述中转移栽单元在初定位工位、上下料工位和暂存工位之间移动工件;所述中转移栽单元包括左翻转机械件和右翻转机械件,所述翻转机械件的吸附机构拾取工件,所述旋转驱动机构旋转所述吸附机构;所述中转移栽单元能够同时取放工件,并在取放过程中旋转工件。同一加工设备完成工件的双面曝光,占地空间小,加工精度更高。
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