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半导体器件及其可分割性监控方法

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§ Ⅰ

개요

발명자

张宪龙

출원일

Nov 26, 2025

공개일

Oct 20, 2026

IPC 분류

H10P 74/00 (2026.01)H10P 74/20 (2026.01)

本公开涉及半导体器件及其可分割性监控方法。一种半导体器件包括:衬底,其包括芯片区和在芯片区之外且与芯片区相邻的保护环区;摆渡测试焊盘,其跨保护环区和与保护环区连续地定位的划道区而设置;单元测试焊盘,其被设置在保护环区中且定位于摆渡测试焊盘上;以及划道测试焊盘,其被设置在划道区中且被位于摆渡测试焊盘上。