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一种芯片转移方法
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10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
IPC 분류
H10P 90/00 (2026.01)H10P 72/70 (2026.01)
本申请公开了一种芯片转移方法,方法包括:对多个待转移芯片进行预处理,对待转移芯片的功能面进行亲水修饰,对待转移芯片的非功能面进行疏水修饰;将预处理后的多个待转移芯片输送至运输通道中,得到包裹待转移芯片的多个油包水液滴,包裹在油包水液滴中的待转移芯片呈功能面朝水、非功能面朝油的水平姿态;将包裹待转移芯片的油包水液滴输送至弯曲流道,以筛选出包裹单个待转移芯片的油包水液滴;将筛选出的油包水液滴转移至目标基板的目标受体孔处,并使落入目标受体孔中的待转移芯片脱离油包水液滴。本申请通过在运输过程中实现待转移芯片的姿态纠正,并通过弯曲流道筛选出包裹单个待转移芯片的油包水液滴,提高了转移的准确性和效率。
§ Ⅵ
특허 도면
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