用于确定高度图的方法和设备

本发明涉及一种用于确定样品的样品表面高度图的方法。本发明还涉及一种用于确定样品表面高度图的方法，包括预扫描步骤和高精度扫描步骤。本发明还涉及一种配置用于确定样品表面高度图的光学轮廓测量设备。本发明还涉及一种包括计算机程序的计算机可读数据载体。