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用于在光罩容器中减少磨损的光罩支撑件
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
G03F 1/66 (2006.01)
提供用于磨损减少的用于光罩容器中的光罩支撑件。所述光罩支撑件具有接纳于底板中的近端。所述光罩支撑件主体的远端处的光罩接触区域接触所述光罩以从所述底板悬挂所述光罩。所述光罩支撑件主体允许所述光罩支撑件主体的所述远端与所述光罩一起相对于所述底板横向移动以防止所述光罩支撑件的所述光罩接触区域在光罩表面上滑动并刮伤光罩的表面。
§ Ⅵ
특허 도면
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