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用于将底涂液和树脂受控施加到基板上以进行卷对板纳米压印的方法及系统

발명알 수 없음
25청구항 · 13 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

J·T·A·克尔克尔斯; J·M·特默伦

출원일

Feb 19, 2025

공개일

Oct 20, 2026

IPC 분류

G03F 7/00 (2006.01)B05C 5/02 (2006.01)

本发明涉及一种用于卷对板纳米压印中将底涂液和树脂受控施加到基板上的方法,包括以下步骤:通过喷涂将至少一种底涂液施加到至少一个基板上,随后通过液滴布放将至少一种树脂施加到所述至少一个基板上,其中所述至少一种底涂液以第一预定图案施加到所述至少一个基板上,并且所述至少一种树脂以第二预定图案施加到所述至少一个基板上,其中所述第二预定图案的至少一部分与所述第一预定图案重叠。

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