光掩膜板清洗装置以及清洗方法

本发明公开了一种光掩膜板清洗装置以及清洗方法，光掩膜板清洗装置包括机架、夹持组件和喷淋组件，夹持组件可转动地设于机架，夹持组件的转动轴线沿第一水平方向延伸，夹持组件用于夹持光掩膜板并使光掩膜板的板面垂直于第一水平方向，喷淋组件包括两组喷淋管，两组喷淋管沿第一水平方向排布，喷淋管沿第二水平方向延伸并设有多个喷嘴，第二水平方向垂直于第一水平方向，喷淋管能绕自身轴心线转动，喷淋管能转动至使喷嘴的喷射方向沿朝向光掩膜板且向下的方向倾斜延伸，喷淋管能转动至使喷嘴的喷射方向沿朝向光掩膜板且向上的方向倾斜延伸，夹持组件和喷淋组件能在竖向上相对移动。本发明能够提高光掩膜板的清洗效果。