一种相变光模块散热结构的一体化制备方法

本发明公开了一种相变光模块散热结构的一体化制备方法，属于光电子器件散热制造技术领域。该方法包含四大工序：相变微胶囊原位合成与零部件精密加工；J1/J2/J3三层精准对位与分段低温焊接；汽液相变工质高真空精准灌注与多级密封；壳体总装与检测。本发明定向合成耐受220℃的MF微胶囊，创新采用分段低温锡钎焊与局部激光焊，确保微胶囊区域温度低于150℃，完好率≥99.9%。J2层内置特斯拉阀几何流道，利用不对称流阻实现无源单向回流，根除气液逆流与流道堵塞。本发明耦合固液与汽液双相变散热，配合高真空精准灌注与三重检漏体系，有效解决微胶囊高温失效、流道堵塞及工质泄漏问题。