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用于晶锭加工的冷冻吸附夹具装置、晶锭加工系统及其晶锭加工方法
발명알 수 없음
9청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
卢远豪; 李浩潮; 周超; 董磊; 柯善明; 唐叔贤
출원일
Sep 18, 2026
공개일
Oct 27, 2026
IPC 분류
B28D 7/04 (2006.01)B28D 7/02 (2006.01)B28D 7/00 (2006.01)B28D 1/00 (2006.01)B24B 41/06 (2012.01)B24B 19/22 (2006.01)B24B 55/03 (2006.01)
本发明公开了一种用于晶锭加工的冷冻吸附夹具装置、晶锭加工系统及其晶锭加工方法，冷冻吸附夹具装置包括：底座，所述底座的上表面形成有双螺旋流道；承载盘，设置于所述底座的上表面；所述双螺旋流道供防冻液通过；所述承载盘用于承载待加工晶锭；所述承载盘的上表面形成有蜘蛛网槽，所述蜘蛛网槽被配置为装载纯水，所述纯水在所述防冻液的作用下形成冰层以机械嵌合所述待加工晶锭。本申请采用防冻液作为循环介质，即使在极低的工作温度（0℃以下）下，也不发生结冰堵塞现象，确保传输的连续性。利用防冻液和纯水吸附待加工晶锭和带走待加工晶锭的热量。
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