一种电子显微镜系统

本发明公开了一种电子显微镜系统，包括：机架；减震装置，连接于所述机架上，所述减震装置包括m个固定于机架并沿机架外周边均匀分布的减震模组，其中，每个减震模组包括n个围绕圆周对称分布并垂直环绕设置的钢丝绳隔震组件，在所述钢丝绳隔震组件环绕空间内部悬挂放置一空气弹簧气缸，其中，m和n均为3‑6的自然数；副机架，连接于所述减震装置上；镜筒，连接与所述副机架上。在本发明中，将钢丝绳的水平向隔振与空气弹簧的垂直向隔振的优势相结合，实现了对水平、垂直及多维向振动的高效复合隔离，为机架提供了极高的静态和动态稳定性，空气弹簧的气压可根据TEM机架的重量进行精确调节，确保机架处于最佳水平状态，并且能适应负载的变化。