阀门装置及半导体设备

本公开实施例提供一种阀门装置及半导体设备，涉及半导体设备技术领域。阀门装置包括：外门；外门包括：外门壳、气囊及外门磁吸件，气囊及外门磁吸件安装至外门壳；内门，设置在外门朝向腔体的开口的一侧；内门包括内门板及内门磁吸件，内门磁吸件安装至内门板；其中，在气囊处于通气状态时，气囊产生推动力，以使内门克服外门磁吸件与内门磁吸件之间的磁吸作用，并沿朝向腔体的开口的方向推动内门，直至内门将腔体的开口关闭；在气囊内的压力低于预设压力时，在外门磁吸件与内门磁吸件的作用下，内门沿远离腔体的开口的方向运动直至与外门壳固定；驱动件，用于驱动外门及内门沿第一方向运动，第一方向垂直于内门相对于外门运动的方向。