基于模态分解与改进相移的白光干涉三维重建方法及系统

本发明公开基于模态分解与改进相移的白光干涉三维重建方法及系统，涉及三维重建技术领域。所述方法包括：获取各像素点的原始白光干涉信号序列，将其分解为若干本征模态函数分量，对各分量进行小波变换滤波与信号重构，获取去噪干涉信号序列，计算去噪干涉信号的调制度序列进行拟合，获取干涉包络曲线，提取相干峰粗定位位置，在附近预设采样窗口内通过七步相移算法解算获取初始相位，对去噪干涉信号进行波数域正交投影分析，将可靠相位与相干峰粗定位位置进行融合，获取精定位相干峰位置，重建待测样品的三维表面形貌。本发明能够显著抑制环境振动、光源波动和探测器噪声等外界干扰对干涉信号质量的影响，实现亚纳米级的三维形貌重建精度。