一种全金刚石压力传感器、制备方法及动态温度补偿方法

本发明涉及半导体传感器制造技术领域，具体而言，涉及一种全金刚石压力传感器、制备方法及动态温度补偿方法，包括：通过在全金刚石敏感膜片的四周无应力区原位集成蛇形片上铂电阻温度传感器，对其在25‑500℃内标定并通过最小二乘法拟合得到温度与阻值的第一对应关系；在不同温度下施加标准压力，测量由硼掺杂金刚石压敏电阻构成的电桥输出电压；计算不同温度下的零点输出和灵敏度，并分别进行二次多项式拟合得到零点温漂和灵敏度温度拟合系数；由信号处理芯片基于所述第一对应关系和拟合系数对原始电信号进行实时温度补偿。本发明实现了全量程内高温温漂在0.02%FS/℃以内的超高精度压力测量。