一种MEMS电场传感器闭环解调系统及方法

一种MEMS电场传感器闭环解调系统及方法，包括：用MEMS电场传感器的电压信号与设定的第一增益系数之积减去重构参考信号得到误差信号，将误差信号分别乘以正交参考载波和正弦信号得到同相混频信号和正交混频信号，正交参考载波和正弦信号互为正交信号；将同相混频信号和正交混频信号进行滤波，滤除高频分量分别得到基带同相分量和基带正交分量；将基带同相分量和基带正交分量进行矢量合成得到解调输出；将解调输出乘以设定的第二增益系数，再乘以正交参考载波得到重构参考信号；且将MEMS电场传感器的屏蔽电极驱动频率调整为正交参考载波的频率。本发明解调输出信号自动逼近真实电场值，不受信号链路中缓变参数偏移的显著影响。