一种激光辐照下镀膜光学元件的缺陷演化预测方法和系统

一种激光辐照下镀膜光学元件的缺陷演化预测方法和系统，涉及电数字数据领域，缓解了现有技术存在难以描述不同膜层的差异化热响应等问题。缺陷演化预测方法包括：基于待预测镀膜光学元件的材料参数、结构参数和激光辐照参数，对待预测镀膜光学元件通过高斯激光体热源方法，获得热源；基于材料参数和热源，获得传热方程；基于材料参数和激光辐照参数，获得水平集界面退缩源项；基于水平集界面退缩源项，获得水平集界面演化方程；对传热方程、水平集界面演化方程和流动方程进行耦合，获得多物理场耦合方程；通过对多物理场耦合方程进行求解，获得缺陷演化预测结果。本发明适用于预测镀膜光学元件在纳秒脉冲等条件下的演化过程。