版图几何预处理及自适应网格细化方法及装置

本发明提供一种版图几何预处理及自适应网格细化方法及装置，其中，该方法包括：获取版图文件；版图文件包括多边形元素和路径元素；对版图文件中的路径元素进行自适应缓冲处理，得到相应的多边形轮廓；对同一图层下的多边形元素对应的多边形轮廓和路径元素对应的多边形轮廓执行拓扑关系检测，构建多边形嵌套关系树；基于多边形嵌套关系树和奇偶规则确定带洞多边形；基于预设的层叠定义和/或命名规则筛选关键表面集合；基于关键表面集合构建空间距离场函数；基于空间距离场函数确定网格尺寸阈值场；将网格尺寸阈值场设置为网格背景控制场，执行网格划分。本发明解决路径元素转多边形轮廓的几何畸变问题，并平衡高频电磁仿真的计算精度与效率。