一种低电弧放电高压电容器件及其制备方法

本申请涉及一种低电弧放电高压电容器件及其制备方法。所述制备方法包括提供初始晶圆，初始晶圆的晶圆背面衬底上方形成有氧化硅‑氮化硅‑氧化硅复合三层绝缘叠层；对晶圆的背面进行选择性湿法刻蚀处理，通过刻蚀将背面完整的三层绝缘叠层全部剥离，刻蚀终止于背面的多晶硅膜表层；通过支撑构件将晶圆整体抬离设备承载台面，对背面完成介质剥离的晶圆实施悬空式等离子灰化处理，去除晶圆表面残留光刻胶与刻蚀衍生副产物。本申请解决了电荷积累导致的局部电场畸变问题，静电卡盘电流完全平稳无波动，电弧放电发生率降至零，大幅提升良率减少颗粒污染；且该方法不改变正面工艺参数，与现有工艺完全兼容，改造成本低易于量产。