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기록

半导体器件的制备方法、电子设备

발명알 수 없음
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

余开庆; 相奇; 曾祥; 张碧莎

출원일

Sep 22, 2026

공개일

Oct 27, 2026

IPC 분류

H10D 30/01 (2025.01)H10D 30/66 (2025.01)H10D 62/10 (2025.01)H10D 62/17 (2025.01)H10D 64/27 (2025.01)

本申请涉及一种半导体器件的制备方法、电子设备,器件包括:提供衬底;于衬底内形成多个掺杂柱,以及与掺杂柱侧壁相接触,交替排列的第一基区,第二基区;其中,第一基区的宽度大于第二基区,等于相邻掺杂柱的间距;形成贯穿第一基区、第二基区的栅沟槽;栅沟槽沿第一方向延伸至部分嵌入掺杂柱;于栅沟槽内形成栅极结构;栅极结构顶面高于衬底的顶面,且包括沿第二方向间隔布设,覆盖第二基区的导电部;形成覆盖栅极结构的层间介电层,以及位于相邻层间介电层的金属插塞;金属插塞沿第二方向与第一基区顶面、相邻第一基区之间的衬底顶面,以及掺杂柱的部分顶面相接触,能够显著加密沟道,获得更低的导通电阻并提升器件的动态特性。

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