一种低暗电流的波导式雪崩光电探测器

本发明公开了一种低暗电流的波导式雪崩光电探测器，包括形成有SACM结构的侧向结波导式APD，增加多次掺杂形成一个或两个电场控制区。优点，本发明，电场控制层进行多次掺杂或者加入隔离地，有效降低了吸收区边缘电场，抑制了暗电流；同时包含了第一和第二两个电场控制区结构，同时提出多种离子注入方式，将倍增区的电场主要限制在纵向波导中心区域，极大地抑制了暗电流。