一种适配超长时低应力厚膜TEOS沉积的尾气渐进堵塞时序防控方法

本发明公开一种适配超长时低应力厚膜TEOS沉积的尾气渐进堵塞时序防控方法，属于半导体PECVD或LPCVD氧化硅薄膜工艺控制技术领域。针对超长时TEOS厚膜沉积工艺中微量TEOS残余持续累积、管壁硅醇凝胶渐进附着导致真空泵滞后过载停机的技术问题，本发明提供一种闭环时序控制体系，包括长时制程全域稳态恒温防凝逻辑、压差与泵电流斜率趋势动态预警机制、不停机间歇气流扰动吹扫时序、批次后阶梯式分段升温深度清洁时序。本发明通过动态趋势预判与分段阶梯温控清洁，实现超长时连续生产零堵管停泵故障。