一种静电卡盘

本发明提供了一种静电卡盘包括：卡盘本体，其边缘具有一向下倾斜的斜坡；限位柱，设置于所述卡盘本体表面，其中，所述限位柱朝向晶圆的一侧呈斜坡状，用于减少晶圆边缘颗粒的附着；电极，设于所述卡盘本体内，所述电极连接电源，用于对放置于所述卡盘本体的晶圆进行静电吸附；以及屏蔽罩，设于所述卡盘本体内所述斜坡的下方，所述屏蔽罩接地，用于屏蔽所述卡盘边缘的静电场。