重掺磷砷衬底外延晶圆的针孔缺陷检测方法

本发明涉及一种重掺磷砷衬底外延晶圆的针孔缺陷检测方法，所属半导体晶圆检测技术领域，针对现有SPX设备单一光学检测对重掺晶圆误判率高、微小针孔易漏检以及化学腐蚀破坏性检测无法量产全检的问题，对待测晶圆进行无损清洗预处理后，基于现有SPX设备平台同步开启暗场散射、相位差及偏振光学成像通道，以屏蔽高载流子背景噪声并采集多通道信号；随后通过多维度协同特征算法筛选，当缺陷区域同时满足暗场信号突变、相位差阶跃变化及偏振信号显著衰减时判定为针孔，仅单一通道异常的颗粒、划痕等伪缺陷予以剔除；最后输出二元化筛查结果。实现非破坏性量产全检，精准区分针孔与伪缺陷，大幅降低误判及漏检率，复用现有硬件成本低且不影响产线节拍。