一种键合过程中动态误差的解耦补偿方法及系统

本申请公开了一种键合过程中动态误差的解耦补偿方法及系统，属于半导体制造技术领域。该方法通过设置于键合头上的第一反射镜、视觉模组前端及后端的第二、第三反射镜，以及晶圆上的预设镜面反射区构建四节点角度监测架构，并对各节点角度进行统一坐标变换和时间对齐。执行三步标定后，根据键合头角度与晶圆基准面角度的相对变化确定键合头相对倾斜量，并基于预先标定的有效阿贝臂计算键合界面处的横向位置误差；根据视觉模组前端、后端反射镜在两个标记位置的平均角度变化确定视觉模组整体运动角误差，并根据同一位置前后端角度差的变化量确定前后端相对角误差。