用于填充鼓泡器的填充装置、填充系统及装备有该填充系统的钎焊或烧结系统，以及运行该填充装置的方法

本发明涉及一种用于向至少一个鼓泡器（12）填充工艺流体（14）、特别是蚁酸的填充装置（10），其可安装或已安装在钎焊或烧结系统中，其中所述填充装置（10）包括流体储存器（20），所述流体储存器借助于至少一个填充阀（26）可与所述鼓泡器（12）流体连接或已流体连接，所述工艺流体（14）可受控地供给至所述流体储存器，并且所述流体储存器被设计为用于受控地向所述鼓泡器（12）填充所述工艺流体（14）。设置的是，所述填充装置（10）包括补给储存器（22），所述补给储存器流体连接在所述流体储存器（20）的上游，所述工艺流体（14）可从流体源（24）供给至所述补给储存器；其中所述补给储存器（22）和所述流体储存器（20）可借助于至少一个供给阀（28）受控地连接；其中当所述供给阀（28）打开时，所述补给储存器（22）通过虹吸效应与所述流体储存器（20）气氛隔离，使得所述工艺流体（14）始终可受控地从所述补给储存器（22）经由所述至少一个供给阀（28）无氧地供给至所述流体储存器（20），并且所述流体储存器（20）始终保持无氧状态。