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IMPEDANCE MATCHING MODULE, IMPEDANCE MATCHING CIRCUIT, PLASMA PROCESS SUPPLY SYSTEM AND PLASMA PROCESS SYSTEM
발명심사 중
2조회수
§ Ⅰ
개요
발명자
NORDMANN, Birger
출원일
Feb 26, 2024
공개일
Jan 6, 2026
IPC 분류
H01JH03HH05K
CPC 분류
H01JH03HH05K
발명자
NORDMANN, Birger
출원일
Feb 26, 2024
공개일
Jan 6, 2026
IPC 분류
CPC 분류