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IMPEDANCE MATCHING MODULE, IMPEDANCE MATCHING CIRCUIT, PLASMA PROCESS SUPPLY SYSTEM AND PLASMA PROCESS SYSTEM
발명심사 중
3조회수
§ Ⅰ
개요
발명자
NORDMANN, Birger
출원일
Feb 26, 2024
공개일
Jan 6, 2026
IPC 분류
H01JH03HH03HH05KH05K
CPC 분류
H01JH05KH05KH05KH01FH01F