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기록
WAFER CARRIER WITH SCAVENGING DEVICE
발명심사 중
3조회수
§ Ⅰ
개요
발명자
HUANG, Shih-Hsuan; LEEDLE, Melvin Joshua; SUTER, John D. II; ANGEL, Juan; PURAYATH, Vinod; MESSMORE, Benjamin; SCAGLIONE, Heather; OHAMA, Kenta
출원일
Feb 26, 2024
공개일
Jan 6, 2026
IPC 분류
H01L
CPC 분류
H01L