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MEMS DEVICE WITH RESONATING STRUCTURE

발명심사 중
1조회수
§ Ⅰ

개요

발명자

KAAJAKARI, Ville

출원일

Jun 30, 2024

공개일

Jan 6, 2026

IPC 분류

B81B

CPC 분류

B81BB81B2203/0118B81B2201/0271