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기록
OZONE GAS SUPPLY SYSTEM
발명심사 중
2조회수
§ Ⅰ
개요
출원인
Meiden Nanoprocess Innovations, Inc.
발명자
NISHIGUCHI, Tetsuya; MORIKAWA, Yoshiki; YAMASHITA, Hiroaki; MATSUMOTO, Naoshi; FUKATSU, Ayaka
출원일
Feb 15, 2024
공개일
Jan 6, 2026
IPC 분류
C01B
CPC 분류
C01B