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DEPOSITION APPARATUS AND DEPOSITION METHOD USING THE SAME

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§ Ⅰ

개요

출원인

Samsung Display Co., Ltd.

발명자

LEE, Sungyong; KANG, Eugene; SEO, Changwook; SUNG, Byunghun; OH, Daeyoung; YUN, Seung Geun; LEE, Sangkeun; JEONG, Yongwoo

출원일

Jun 25, 2025

공개일

Jan 6, 2026

IPC 분류

C23CC23CH01KH01LH10K

CPC 분류

H01KC23CC23CH01LH10K

외부 자료