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기록
ADAPTER APPARATUS AND SEMICONDUCTOR PROCESS DEVICE
발명심사 중
1조회수
§ Ⅰ
개요
출원인
Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
발명자
LIU, Dongxu; MA, Hongshuai; NAN, Jianhui; ZHAO, Hongyu
출원일
Feb 27, 2024
공개일
Jan 6, 2026
IPC 분류
F16LH01L
CPC 분류
Y02A