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기록
CHEMICALLY AMPLIFIED NEGATIVE RESIST COMPOSITION AND RESIST PATTERN FORMING PROCESS
발명심사 중
1조회수
§ Ⅰ
개요
발명자
FUKUSHIMA, Masahiro
출원일
Jun 25, 2025
공개일
Jan 6, 2026
IPC 분류
G03FG03F
CPC 분류
G03FG03FG03F
발명자
FUKUSHIMA, Masahiro
출원일
Jun 25, 2025
공개일
Jan 6, 2026
IPC 분류
CPC 분류