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ONIUM SALT MONOMER, POLYMER, CHEMICALLY AMPLIFIED NEGATIVE RESIST COMPOSITION, AND RESIST PATTERN FORMING PROCESS
발명심사 중
4조회수
§ Ⅰ
개요
발명자
FUKUSHIMA, Masahiro
출원일
Jun 29, 2025
공개일
Jan 6, 2026
IPC 분류
G03FG03FC07CC07CC07CC07CC07DC07DC08FC08FC08FC08FC09D
CPC 분류
G03FG03FC07CC07DC07DC07CC07CC07CC08FC08FC08FC09DC08F