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§ Ⅰ

개요

출원인

한화세미텍 주식회사

원래 이름 기록: 한화세미텍 주식회사 · 전체 특허 보기특허 출원인 기록

발명자

류희성; 신유리

출원일

Jun 24, 2024

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1J 37/32H1L 21/687H1L 21/768

CPC 분류

H1J37/3244H1J37/32174H1J37/32715H1L21/68742H1L21/76837

외부 자료

Google PatentsEspacenet