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§ Ⅰ

개요

발명자

박형상; 정성준; 김지혜; 최민호

출원일

Jun 24, 2024

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1J 37/32C23C 16/505H1L 21/67

CPC 분류

H1J37/32174C23C16/505H1J37/32357H1J37/3244H1L21/67069H1J2237/3321