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№ KR1020250180003A
기록
기판 처리 장치
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발명
심사 중
5
조회수
§ Ⅰ
개요
출원인
삼성전자주식회사
원래 이름 기록: 삼성전자주식회사 · 전체 특허 보기
특허 출원인 기록
발명자
임현우; 박민철; 최수호; 최윤희
출원일
Jun 24, 2024
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
H1L 21/67
CPC 분류
H1L21/67069
외부 자료
Google Patents
Espacenet