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기록
기판 처리장치, 기판 처리방법, 기판의 제조방법, 매체에 기억된 제어 프로그램, 기록매체
발명심사 중
5조회수
§ Ⅰ
개요
발명자
이마쿠라 야스타카; 키시모토 카츠시
출원일
Apr 10, 2025
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
H1L 21/67H1L 21/677H1L 21/68
CPC 분류
H1L21/67259H1L21/67253H1L21/67742H1L21/68
발명자
이마쿠라 야스타카; 키시모토 카츠시
출원일
Apr 10, 2025
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
CPC 분류