정제 촬상 장치, 정제 촬상 시스템 및 정제의 검사 및/또는 인쇄를 위한 장치

출원인

다이이치지쯔교 비스위루 가부시키가이샤

발명자

마츠다, 신야; 츠지오, 료지

출원일

May 22, 2025

공개일

Dec 31, 2025