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기록
가스 분배용 방법 및 장치
발명심사 중
7조회수
§ Ⅰ
개요
발명자
폰두룰리아 카일; 킴티 안키트
출원일
Jun 20, 2025
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
C23C 16/455C23C 16/44H1L 21/67
CPC 분류
C23C16/45565C23C16/4412C23C16/45544H1L21/67017H1L21/67069
발명자
폰두룰리아 카일; 킴티 안키트
출원일
Jun 20, 2025
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
CPC 분류