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가스 분배용 방법 및 장치

발명심사 중
7조회수
§ Ⅰ

개요

발명자

폰두룰리아 카일; 킴티 안키트

출원일

Jun 20, 2025

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

C23C 16/455C23C 16/44H1L 21/67

CPC 분류

C23C16/45565C23C16/4412C23C16/45544H1L21/67017H1L21/67069