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기록

가열 포집 및 냉각 포집하는 반응부산물 포집장치

발명patent.status.granted
7조회수
§ Ⅰ

개요

출원인

특허 출원인 기록

발명자

차일수; 김용윤

출원일

Jun 25, 2024

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 21/67B1D 46/42C23C 16/44

CPC 분류

H1L21/67017B1D46/4263C23C16/4412B1D2258/216

외부 자료

Google PatentsEspacenet