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№ KR1029047070000B1
기록
아크 챔버 시스템, 및 이를 이용한 자기 조정 기능을 가진 고주파 발생 장치
저장
발명
patent.status.granted
8
조회수
§ Ⅰ
개요
출원인
특허 출원인 기록
발명자
최대규
출원일
Feb 2, 2021
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
H1J 37/32
CPC 분류
H1J37/32183
H1J37/32119
H1J37/32155
H1J37/32458
H1J2237/3341
외부 자료
Google Patents
Espacenet