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전자 소자의 열화 개선 방법
발명patent.status.granted
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
H10K 71/40C23C 14/58H10H 20/H10K 30/10H10K 30/40H10K 30/50H10K 30/81H10K 30/85H10K 30/86H10K 71/60H10K 71/70
CPC 분류
H10K71/40C23C14/5806H10H20/1H10K30/10H10K30/40H10K30/50H10K30/81H10K30/85H10K30/86H10K71/60H10K71/70