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기록

세정 장치 및 이를 이용한 세정 방법

발명patent.status.granted
11조회수
§ Ⅰ

개요

발명자

김재풍; 이재훈; 강혁; 안창욱; 임한글; 최병진

출원일

Apr 6, 2022

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H10K 71/H10K 99/

CPC 분류

H10K71/H10K71/166