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기록

로드락 챔버 구조체

발명patent.status.granted
6조회수
§ Ⅰ

개요

발명자

이소현; 차세욱; 박미선; 이병우; 우상윤; 배준호; 신재혁; 이만기

출원일

Aug 26, 2024

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 21/67H1L 21/687

CPC 분류

H1L21/67201H1L21/67098H1L21/67126H1L21/68742