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기록

반도체 장치

발명patent.status.granted

§ Ⅰ

개요

출원인

발명자

배덕한; 박주훈; 엄명윤

출원일

Jun 2, 2021

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 21/768

CPC 분류

H1L21/76829H1L21/76816

외부 자료

Google Patents Espacenet