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기록
리소그래피 장치의 초점 성능을 측정하기 위한 방법, 패터닝 디바이스 및 장치, 디바이스 제조 방법
발명patent.status.granted
9조회수
§ Ⅰ
개요
출원인
발명자
리우, 페이; 리안, 진; 황, 주앙시옹; 데 빈테르, 라우렌티우스, 코르넬리우스; 스타알스, 프랭크
출원일
Jul 6, 2021
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
G3F 7/20G3F 1/44G3F 9/
CPC 분류
G3F7/70641G3F1/44G3F7/70091G3F7/70683G3F9/7026