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기록

기판 처리 방법 및 기판 처리 장치

발명patent.status.granted

7조회수

§ Ⅰ

개요

출원인

특허 출원인 기록

발명자

스미 노리타케

출원일

Aug 23, 2024

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 21/2H1L 21/67H1L 21/677H1L 21/687

CPC 분류

H1L21/2101H1L21/2057H1L21/67034H1L21/67051H1L21/67155H1L21/67742H1L21/67748H1L21/68728

외부 자료

Google Patents Espacenet